怎么加那些做鸡的微信

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首頁 > 產品展示 > 組合多功能真空鍍膜系統
DE3000 組合多功能薄膜沉積系統

LOAD LOCK連接磁控濺射和電子束蒸發腔體前開門濺射腔體多個磁控濺射源前開門電子束蒸發腔體多坩堝位旋轉電子槍冷凝泵和干泵最大6”基片基片旋轉基片偏壓（可選）基片加熱1000度(可選) 多達四路工藝氣體 PID濺射壓力控制系統手動或自動控制良好的薄膜均勻性和重復性可沉積金屬、半導體和絕緣材料沉積多層膜及合金薄膜
- 特點
- 描述
LOAD LOCK連接磁控濺射和電子束蒸發腔體
前開門濺射腔體
多個磁控濺射源
前開門電子束蒸發腔體
多坩堝位旋轉電子槍
冷凝泵和干泵
最大6”基片
基片旋轉
基片偏壓（可選）
基片加熱1000度(可選)
多達四路工藝氣體
PID濺射壓力控制
系統手動或自動控制
良好的薄膜均勻性和重復性
可沉積金屬、半導體和絕緣材料
沉積多層膜及合金薄膜
相關產品
- DE4500 磁控濺射和蒸發薄膜沉積系統

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