-
DE500C 電子束蒸發鍍膜系統
DE500C 電子束蒸發鍍膜系統配置兩個電子束蒸發源，可在基片蒸發沉積金屬、合金、半導體或介質材料
蒸發腔體膠圈密封前開門便于腔體內部操作, 其余法蘭口均采用金屬密封
基片擋板開啟由膜厚儀閉環控制系統安全互鎖
計算機控制全自動或手動操作典型應用
用于薄膜沉積研發
用于LIFT-OFF工藝的理想平臺
可蒸發金屬、合金、半導體或介質材料
可蒸發磁性材料相關產品
